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当废气进入等离子光氧一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变成无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。)光氧净化器是指在光的作用下进行的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，受激产生分子激发态，继而发生化学反应生成新的物质或变成引发热反应的中间化学产物。光催化剂是指在光的照射下，自身不起变化，却可以促进化学反应的物质。它利用光能转化成化学反应所需的能量，产生催化作用，使周围的氧气及水分子激发成具氧 化力的自由基或负离子。
光氧净化器采用低VOC或无VOC的环境友好型涂料(高固体分涂料、水性涂料、粉末涂料等)替代溶剂型涂料，这是解决VOC对大气污染的治本措施。环境友好型涂料中高固体分涂料在原有涂装工艺及设备上不需做大的改动就可采用，降VOC效果也十分显著，如汽车涂料施工私度下的中涂、面漆固体分提高10%~15%，可达到削减VOC30%~40%的效果。可是在涂料方面不是简单地减少有机溶剂的用量，而要保持施工性能(如施工私度)基本不变，需重新设计或调整配方和研制，采用新型树脂和吸油量小的有机颜料。采用水性涂料和粉末涂料替代溶剂型涂料，涂装工艺和设备要作大的改动，一般宜在新建涂装线时采用。
UV光氧净化器的技术特点及使用工作基本机理：众所周知臭氧对有机物具有强的氧 化作用，对各大工业废气及其它刺激性异味。各大工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对各大工业废气进行协同分 解氧 化反应，使工业废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧 化碳，再通过排风管道排出室外。利用高能-C光束工业废气中细 菌的分子键，再通过臭氧进行氧 化反应，达到净化的目的．根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率。
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